repulsebay1234
发表于 2005-10-24 19:55:00
感谢各位帮助，但真空度到2E-3Pa， 和加温都无帮助。另外一点，本设备老旧，真空抽到4E-3Pa已要2-3小时。很可能是因为时间太长，返油造成的。下一步准备加冷凝井试一下。各位有何高见？
guizi315
发表于 2005-10-25 21:07:00
楼主问题是否解决了，提出来共享一下，我也类似问题
repulsebay1234
发表于 2005-11-1 07:41:00
尚未解决，仍在努力。大概是设备问题，抽速太慢。
Jobyan
发表于 2005-11-1 16:50:00
<P>在鍍鋁前先加鍍一層sio2(加溫),再鍍鋁和保護層.</P>
<P>要請我吃飯哦!</P>
raofengx
发表于 2005-11-2 16:39:00
<P>也许真空度测量有问题，显示的是假象，用复合真空计确定一下真空度</P>
shxjgxyqyxgs
发表于 2005-11-3 03:13:00
保护膜有多厚，保护膜厚薄与颜色很重要，太薄铝膜不牢，颜色深吸收大。
molang2003
发表于 2005-11-3 05:18:00
<P>是不是本身基底的清洁度做好啊？</P>
josephli
发表于 2005-11-8 04:27:00
<P>1，真空未必需要十分高。5E－3Pa以下即可。</P>
<P>2，镀20-50NM al2o3打底（用离子源辅助）。</P>
<P>3，镀AL时温度尽可能低，要小于80镀。镀AL时速度要快。</P>
lubangyuan207
发表于 2005-11-10 03:09:00
我懂，请与我联系13921417963
kuan
发表于 2005-11-11 18:50:00
<P 0cm 0cm 0pt">基板铝膜间<FONT face="Times New Roman"> </FONT>加镀键结材料</P>
fujia6805
发表于 2005-11-12 03:23:00
<P>真空抽到4E-3Pa已要2-3小时？建议改造设备。一般要求20--30min镀完的。</P>
春日步
发表于 2005-11-15 19:11:00
<P>抽真空这么慢是不是扩散泵或是真空计有问题?同意上面几位的说法,可能是铝与玻璃间的黏着力不好,应考虑先渡一层其他膜种</P>