yzhuang 发表于 2005-10-7 20:54:00

请教窄带滤光片的一些问题

在镀制窄带滤光片时，如何设置监控波长，监控片，如何才可做到误差尽量小，因为在较窄的滤光片的镀制时，1%的厚度误差都会使得镀出的膜系曲线透过率极低！希望各位大虾能够踊跃发言，各抒已见！！

宇轩 发表于 2005-12-12 02:29:00

那要看你的具体的光学指标 才能确定啊

ic5 发表于 2005-12-13 16:50:00

<P>我不知道你所用的膜系是规整膜系还是非规整膜系？</P>
<P>如果是规整膜系的话，因为监控波长是不变的，这时候我认为监控波长的设置没有多大的关系，可能镀出来的结果和你的要求有一个波长的偏移，下一次把波长重新调整一下就可以了，光学性能方面应该没有多大问题。</P>
<P>如果是非规整膜系的话，因为监控波长多数情况是变化的，这时候可能是比较麻烦的事，那就要把Tooling值给弄得越准确越好了！（没有这方面的经验，不对之处请批评指正！）</P>

wazxq 发表于 2005-12-13 21:06:00

<P>光控当然要好了，好的光控可以做到，怎么可能1%的误差呢，那肯定不行了，能做到万分之5到千分之一的误差</P>

zzzz 发表于 2005-12-14 18:41:00

<P>最好能实时监控了</P>

hacker 发表于 2005-12-14 19:06:00

<P 0cm 0cm 0pt">要采用光控规整膜系﹐监控时要考虑监控波长宽度和阻噪能力﹐所以窄带滤光片最好采取单色仪加窄带滤光片方法监控。晶控<FONT face="Times New Roman">(</FONT>规整、非规整膜系<FONT face="Times New Roman">)</FONT>不好﹐其难消除误差累积且重复性比较难保证。<o:p></o:p></P>

yzhuang 发表于 2005-12-23 04:49:00

<P>如果膜系为HLH（HLHLHLHLH)^2 HLH，那我控制起来该用几个光控位置呢？是一个？还是两个？或是多个？如何控制？</P>

ic5 发表于 2005-12-24 22:40:00

<P>最好用单波长控制,因为这样的相对误差会更小一点.</P>

otxtc 发表于 2005-12-27 17:32:00

膜系改写如下
HL2HLHLHL   HL2HLHLHL      HL2HLH
分三块比较片, 用单波长监控每块比较片。
对应 TOOLING 变化， 每块比较片的监控波长一般可略递增， 递增幅度根据试验来定( 国产机器约0.5%~1%)。
//纸上谈兵
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