天涯孤星 发表于 2005-10-28 00:12:00

[求助]设备改造

我司现有北仪的镀膜机5台，DM700C三台，DM700A二台，现抽速每炉需要1个小时，想改造下机器，提高抽速，希望高手指点如何改造。
谢谢！

martin1980 发表于 2005-10-28 00:30:00

应该换油了吧，或者换新的抽气泵！

天涯孤星 发表于 2005-10-28 01:05:00

<P>现在的系统是2X-15泵加K130的扩散泵，抽真空要求到6*10-3Pa。</P>
<P>新设备进来时，抽速还可以，25-30分钟，使用时间越长，抽速就越慢。</P>
<P>换油后，有改善，但并不是很明显。</P>
<P>有人建议在机械泵和扩散泵之间加150的罗茨泵，不知道效果如何？</P>

snebur 发表于 2005-10-28 06:58:00

<P>当然是好主意！MBP会提高抽速！</P>

xfx9721 发表于 2005-10-28 07:56:00

天涯孤星 发表于 2005-10-28 17:49:00

<P>我这里工作连轴转，机器没有停的时候，这点很难做到。</P>

yh15430 发表于 2005-10-28 19:59:00

机器脏了，不清洗，你们提高抽速也解决不了问题。

samtgt 发表于 2005-10-28 22:25:00

<P>呵．．．磨刀不误砍材功嘛．．．</P>

flashzhang 发表于 2005-11-9 19:40:00

<P>主要应该是前级泵抽速太慢，加MBP!</P>

leidiygs 发表于 2005-12-1 23:07:00

<P>清洁真空室很重要，否则换了油几天就不行了，哥们！</P>

洪峰 发表于 2005-12-3 18:26:00

<P>这样的抽气系统好像抽速不够啊。现在700的机器基本都是70的机械泵+500的矿散泵了</P>

天涯孤星 发表于 2005-12-5 19:18:00

<P>在机械泵与扩散泵之间加150的罗茨泵经试验，还不如我现有的设备省时（换油后测试），如果加大扩散泵，是不是口径不一样呀，如果一样，换扩散泵也可以和机械泵也可以。</P>
<P>总比买新的强，呵呵</P>
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