guoningaa 发表于 2005-12-21 05:05:00

氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点

能抽到1.0X10-3Pa,根据压升测得漏率大约2PaL/s,氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点,系统抽速大约2000L/s.
快快支找招,急死我了,如何才能找到漏点.

zzzz 发表于 2005-12-22 19:31:00

<P>检漏仪不不是万能的.</P>
<P>查查各转动件,换密封圈,查查是否有内漏</P>

2614162 发表于 2005-12-23 18:48:00

<P>也许不是漏气问题！你检查其他设备是否正常</P>

jingxiaobao 发表于 2005-12-24 05:40:00

<P>看抽气系统有没有问题</P>
<P>特别是扩散泵</P>

宇轩 发表于 2005-12-28 06:01:00

<P>得看一下真空室里的水系统有没有漏水，像你那能抽到那么高的真空度，如果有漏水那也是微漏</P>
<P>所以在检查是可得很仔细咯，扩散泵效率是否正常也得查查哦</P>
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