宇轩 发表于 2006-1-6 17:00:00

遇到怪事，请高手破解，在此不盛感激

用霍耳的离子源且离子源位置不是在正中间，镀IR-CUT，用的是大锅盖型夹具，分有四圈，镀出来的产品指标OK，但是发现123圈的片有点
发蒙，但光洁度还好，然而第4圈的片子没有发蒙挺透亮的，却有很多的点子。猜想会不会是离子源轰击不均匀造成的呢？听一个专家说过离子源能量轰击的越多，那么膜层就会越致密，就会是基片更透亮，反之就会有发蒙。但又有听说是离子源轰击的多才会发蒙的，反之就透亮，透亮原因是散射造成的。但散射这慨念不太了解是什么意思。。。。然而到底是怎么回事呢？？？？？？？

zjtzzy 发表于 2006-1-6 19:15:00

<P>离子源的能量太高</P>

宇轩 发表于 2006-1-7 02:23:00

<P>可是霍耳源的能量是很小的啊？阁下的意思是降低能量就行了吗，谢谢你的指点</P>

martin1980 发表于 2006-1-7 16:28:00

<P>这个原因可能很多的，不知你加温多少，离子源阳极电流多少？</P>
<P>我做IR-CUT，可以交流，QQ：28398195。</P>

宇轩 发表于 2006-1-7 16:49:00

加温是200度，阳极电流7A

compass 发表于 2006-1-29 20:26:00

<P>铼宝的典型问题 离子源</P>

laoxianccc 发表于 2013-4-27 12:40:16

{:6_147:}{:6_151:}

新手求教 发表于 2013-4-28 11:15:21

{:6_147:}

ouyuu 发表于 2013-5-6 09:40:53

离子源分布问题

maray 发表于 2013-6-3 09:48:56

{:6_147:}

强子 发表于 2013-6-3 10:05:02

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ghtzna 发表于 2013-6-3 14:39:23

有两个问题
1：外圈与中间发蒙是否和离子源有关      建议保养离子源及调整工艺参数考虑
2：外圈有点子是否和其他有关，比如夹具的清洁度。
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