wjf01041527 发表于 2006-5-9 00:18:00

请问正常情况下，晶控片能达到多少层膜？

请问：
   分别用INFICON和MAXTEK两种晶片镀SiO2膜，正常情况下，达到多少层比较合适？
   （我们现在用的INFICON的可以达到70层左右。）
      请高手指点一下？

martin1980 发表于 2006-5-9 16:04:00

这个可能要看具体每层膜的厚度吧!
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