[讨论]用于GaN基LD、LED衬底(Al2O3,SiC等)的激光划片机
<p>最近研发用于GaN基LD、LED衬底(Al2O3,SiC等)的激光划片机(波长266,355nm)。</p><p>请问业界对使用激光划片机有什么具体要求?心得?</p><p>如,激光对掺杂的影响?对器件性能的影响等等?</p><script type="text/javascript"></script><script src="http://pagead2.googlesyndication.com/pagead/show_ads.js" type="text/javascript"></script> 这个东西作好的话,应该不错的好文章
往往区哪里有卖的
用于GaN基LD、LED衬底(Al2O3,SiC等)的激光划片机哪里有卖的? 日本 做这个东东做的不错,中科院好象有这个设备!
SiGe
那里有做这方面工作的GaN
有没有做这个材料制备工作的,有的话请教一下 没有用过日本的...用过欧洲的!!!!!!!感觉没有锯片可靠
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