lianghuafeng 发表于 2007-3-14 00:57:00

求助脱膜的问题

<p>昨天我镀了一次长波通滤波片的膜，具体参数是这样的：</p><p>镀膜材料：ZnS，MgF2</p><p>基片温度：150度，总共有24层。</p><p>使用电子束蒸发，镀完之后，拿出来时温度是60°，可是脱膜了，由于是新手，不是很清楚原因，请哪位好心人帮忙看看</p><p>，分析一下看是什么原因。先谢谢了！</p><p>我的联系方式：qq：476611723，email：<a href="mailto:lhfsemail@163.com">lhfsemail@163.com</a></p>

315 发表于 2007-3-14 01:54:00

为什么不用氧化钛和氧化硅?

终南子 发表于 2007-3-16 02:12:00

MgF2应力大,你又镀那么多层,膜裂就不奇怪了.

john03062003 发表于 2007-3-23 18:52:00

<p>这两种材料都是软膜料，镀这么多层不该选择这两种材料，试试Ta2O5 和SiO2</p><p></p>
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