wwl 发表于 2007-6-6 21:37:53

求助:薄膜理论厚度与与监控厚度的转换

膜系设计的理论厚度(物理厚度)与实际操作的监控厚度(石英晶阵)之间如何转换啊?

zzzz 发表于 2007-6-7 10:49:01

晶控里不是有TOOLING的算法吗?
大家都不看说明书吗?

tfc 发表于 2007-6-7 16:50:07

楼上说的对,因此,只要变TOOLING,想怎么换算都行.
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