很好,谢谢楼主的贡献!!!!!!!!!!
希望藉著離子助鍍改善我目前n值提高n值 謝謝分享
非常感谢啊!!!!!!!!!!!!!
tonghua44@163.com谢谢
好东西
{:6_156:}学习一下吧
谢谢!
下了还是乱码,根本没办法看啊
{:6_143:}
晕,正想下,看评论就知道自己该{:6_145:}!
北京镨玛泰克全面提供各种功率离子源以及磁控溅射靶和各种弧源,有需要请联系13693572892pmtek_lxl@163.com
一PowerIon系列圆形霍尔等离子源的特点简介
结构先进
等离子体束流大
可在高温环境下长期可靠工作
完全适用于反应气体
悬浮电位显示
安装简便、维护简单运行成本低
空间均匀性强
操作简单
I.
二阳极膜离子源的特点
大束流,高密度
无栅极和灯丝
适合各种工作气体:O2, N2和
碳氢气体
能在溅射压强下工作
离子束能量范围:100~2000eV
维护简单
基体预处理提高膜层附着力
提高膜层聚集密度
有效控制薄膜内应力,调整成分化学配比,优化显微结构
三受控型阴极弧源
阴极弧源蒸发时而不产生熔池,可以任意方位布置,可采用多个弧源同时工作。
离化率高于达80%,显著提高膜层附着力和性能。
沉积速率快、效率高,无环境无污染、节能效果明显。
四溅射阴极源
有限元计算磁场设计
磁铁与水隔离, 避免性能退化
高靶材利用率
高溅射速率、高功率密度
兼容射频和直流溅射模式
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