我们常讲的薄膜厚度一般在10埃到100微米之间。它们在工业上的用途非常广。它们的制程也有多种。薄膜必须拥有适当的厚度，组成，粗糙度，及别的特性才能起到它应有的功用。我这里简单介绍两种薄膜厚度和光学特性的检测方法。
光学检测技术通过测量薄膜与光发生的相互作用来确定它的特性。光学技术可以测量薄膜厚度，表面粗糙度，和光学常数。光学常数（折射率 n 和消光系数 k）则是用来描述光在一个材料内的传播和在材料界面上的反射。
薄膜检测方法中的首选应该是光学测量技术。因为它们既准确无损，而且不需要花大量时间来准备样品。两种最常见的光学测量技术是光谱反射仪和椭偏仪。
光谱反射仪通过测量在一定波长范围内垂直光反射的强弱。椭偏仪也很类似。只是它的入射光和反射光都与样品表面不垂直。并且用两个偏光。一般来讲光谱反射仪比椭偏仪要简单和便宜。并且容易操作，维修简单。特别是在线测量时光谱反射仪更能显示出它的优势。
在绝大多数薄膜测量情况下光谱反射仪和椭偏仪都可以测量厚度，表面粗糙度，和多种薄膜的光学常数。只有在薄膜特别薄（<3nm）或者结构层次特别复杂的情况下你就只好花大钱来买椭偏仪用了。
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