请教各位高手达人一个问题,请大家看一看
最近在镀膜,试验的几种材料,结果均匀性还是不错的,但是发现膜厚出现漂移,相同条件下做出来的片子,前后两次厚度相差达到40NM,有时候是前两次相差几个NM,到了第三次又会出现大的漂移。想请教下这个是怎么回事,还有就是计算“膜厚修正系数”的方法是不是通用的?
用的是玻璃基片,材料是钛酸镧 镀膜我是外行,给你顶下可以!希望能被高手看到! 怎么就没有高人来指点一下那
回复 #3 flytiger8 的帖子
用的是什么镀膜机器?最重要的是怎样检测膜层厚度的?反射法 or 透射法? 路过解答不了
自己做的机器,国内一流,,,基本可以与进口货色相比,,,,
用的是透射法测的膜厚
期待您的解答
回复 #6 flytiger8 的帖子
应该是控制的精度有问题了吧,另外,你是控制几层? 自己做机器那不就是中光了................................. 用的是什么膜料?
晶控还是光控?
开始镀时真空度,温度,分别是多少?炉与炉之间是否一致? 應該是控制的問題,以前我也有碰到過.膜層漂移 漂移问题我不知道怎么回事,不过后面那个计算系数好像不通用!
新手上路,请多关照!
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