zhaohao_1 发表于 2008-5-20 22:10:42

求助！

请各位为高手看看这样的膜系结构工艺上能实现吗？
层数        材料        膜厚/nm
1        Si        21.76
2        SiO2        101.89
3        Si        43.53
4        SiO2        101.89
5        Si        43.53
6        SiO2        101.89
7        Si        43.53
8        SiO2        101.89
9        Si        43.53
10        SiO2        101.89
11        Si        21.76
12        SiO2        200.92
13        TiO2        250.65
14        SiO2        401.85
15        TiO2        250.65
16        SiO2        401.85
17        TiO2        250.65
18        SiO2        401.85
19        TiO2        250.65
20        SiO2        401.85
21        TiO2        250.65
22        SiO2        200.92

zhaohao_1 发表于 2008-5-21 07:21:15

大侠们帮帮忙阿！谢谢！！！！！！！！！！！！！！！！

zzzz 发表于 2008-5-21 10:23:46

比较难
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liyazhou 发表于 2008-5-27 10:46:06

可以.................................................

zzzz 发表于 2008-5-27 13:02:29

楼上如何准确控制SI的折射率呢?
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