feifeilove 发表于 2008-11-17 09:00:47

请教各位前辈

我用电子枪在石英玻璃基底上镀铬膜和镍膜，过程采用离子束辅助轰击。可是膜层脱膜，呈透光的针孔，星星点点的，在显微镜下看什么形状都有，有圆形的三角形的
在蒸镀前，我用酒精将真空室内部擦试干净，布上基本没有金属小碎沫
石英玻璃基片用中性洗涤剂去油——水，去离子水冲洗，去离子水超声——丙酮乙醇擦洗——乙醇超声——去离子水超声——氮气吹干——装机

请问各位前辈，哪里出的问题。
我是刚开始学习镀金属膜

zzzz 发表于 2008-11-17 09:51:13

N2吹干大大地不好.
装机前检查下玻璃洁净度.

shjygx 发表于 2008-11-21 13:20:57

好容易擦干净了，你去吹脏它干嘛呀

jhxxmlhk 发表于 2008-11-21 17:29:56

SiO2+Ni(Cr)+SiO2
SiO2要IAD。
Ni(Cr)不需要IAD，再者注意蒸发速率和产品镀前清洁度。
Good   Lucky!!!

宇宙深处 发表于 2008-11-22 12:10:26

若是无尘室的话,就要考虑是不是有喷药现象.

APS1104 发表于 2008-11-22 12:28:46

回复 1# feifeilove 的帖子

用电子枪在石英玻璃基底上镀铬膜和镍膜，过程不必采用离子束辅助轰击。请问你大概要在石英基底上要镀多少nm?
在蒸镀前，你用酒精将真空室内部擦试干净,请问你将真空室烘烤了没？氮气吹干石英基片是不对的，反而会更不干净。

feifeilove 发表于 2008-11-22 16:46:13

回复 6# APS1104 的帖子

在石英基底上镀100nm铬再镀200nm镍。不用辅助轰击，那基底需要加热吗？温度为？
酒精擦拭后 没有烘干

镀镍用什么坩埚？我现在用石墨坩埚，可是老裂，请问用什么坩埚？氮化硼行吗？哪有卖？

非常感谢！

破冰而出 发表于 2008-11-24 11:33:10

氮化硼好象也裂，石墨坩埚是什么样的，没见过，汗……
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