fawang 发表于 2009-1-29 07:46:39

为什么磁靶的表磁是中间高，两边低？

各位大侠，请问为什么旋转靶中磁靶的表磁是中间高，两边低？

noodlesy 发表于 2009-1-29 12:27:39

有利于溅射啊,这个和直流靶是一样的.还有就是你说的磁场是平行于靶表面的对吧?

fawang 发表于 2009-1-31 20:36:16

哈哈,为什么说有利于溅射?磁铁是平行于靶表面的.那为什么平靶却是要求表磁都一样呢?

noodlesy 发表于 2009-2-1 12:10:37

DC 和旋转靶的磁极是一样的,磁场怎么能不一样呢?

fawang 发表于 2009-2-1 16:08:31

可能我没说清楚吧,我说的"平靶却是要求表磁都一样"是指组合的单个磁铁表磁.对拉,我想问的"为什么旋转靶中磁靶的表磁是中间高，两边低？"这样有利于溅射?

noodlesy 发表于 2009-2-1 18:09:58

电场和磁场正交的时候,电子能量的利用律是最大的对吧?

而你测量磁场的探头与磁场的方向是否保持一致呢?

zzzz 发表于 2009-2-2 08:39:56

看看靶上的磁力线分布就知道了

fawang 发表于 2009-2-2 20:08:22

6# noodlesy

哈哈，是保持一致的拉。我的问题还是为什么有利于溅射?有哪位大侠不吝赐教！

xbimr 发表于 2009-2-9 09:30:50

这个是看情况的，有时是为了磁路设计平衡度的考虑。这个不是关键，没有定式。

Coatinggirl 发表于 2009-2-9 13:22:22

磁场强度分布的原因，这样有利与均匀性
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