没看到异常现象，不好说。
从图上看TiO2的速率Ripple是大了点，我做的都是0.2A以内的波动。你那么大的波动，看看电子枪电流是否也波动很大，如果是的话，改善下枪（先把A/Sec/Power%调大点看有否改善）。如果电子枪电流波动很小，说明是接收的sensor有问题，看下振荡器连接是否良好，可以的话换个新的试下。清洁工作和冷却水也确认好。慢慢排除吧，理个头绪出来。
没看到异常现象，不好说。
从图上看TiO2的速率Ripple是大了点，我做的都是0.2A以内的波动。你那么大的波动，看看电子枪电流是否也波动很大，如果是的话，改善下枪（先把A/Sec/Power%调大点看有否改善）。如果电子枪 ...
jhxxmlhk 发表于 2009-5-27 20:56 static/image/common/back.gif
他现在关键是室温下正常，加温不旋转也正常。 楼主加温多长时间啊？把保温时间长一些试下。
帮不上忙…帮顶下，学习中。我这新柯隆的机子不烘烤速率也有锯齿现象，换个晶片就可以了，（发现有些晶片频率高了还比较不好用，汗）
方法总比问题多 ！肯定是能解决的，楼主再好好检查一下。
感谢各位的出谋划策，原因大体应该是如我所言，因为，当工转开到较高速率时，影响几乎没有（转速高时，四个小行星盘可作为一个均匀的发热圈，不再是点）
为什么会出现这状况，厂家和我们也很纳闷，因此，此前用过老外的机器，结构相同，没有遇到过此问题，厂家也说看到过韩国机器，一样配置，也没有发现同样问题。
决定换成帽形结构了，倘若真是温度场不均所致，说明设计结构上有问题，可能设计的行星架结构本身存在不可更改的缺陷。
郁闷啊，挺大的一改动工程的。不知改后会如何。
确实挺蹊跷的。
同意8楼意见。我们之前也有这样的问题，不过在机器验收的时候就解决了！
要调烘烤温控仪的PID参数！我们是把I调大，把D调小，后来就稳住了。
你可以边调边试，只要达到预设温度之后，晶控的速率不乱跳就可以了！！
经验只供参考！
晶振片冷却水有没有问题？还有就是卤素灯太脏了，
是不是卤素灯加热功率控制单元与晶振片干扰了，单独接地线？？？
谁来具体解释下PID的 工作原理
这个温度对晶体的速率影响还是很大的,我觉得实际上是热冲击造成的,下烘烤加热不稳定,肯定对速率的变化有影响,一方面你可以调节PID设定,还有在晶体的附近想些办法,最好不要让热辐射直接照在上面.
同意8楼意见。我们之前也有这样的问题，不过在机器验收的时候就解决了！
要调烘烤温控仪的PID参数！我们是把I调大，把D调小，后来就稳住了。
你可以边调边试，只要达到预设温度之后，晶控的速率不乱跳就可以了！！ ...
lsnanjing 发表于 2009-6-23 21:49 static/image/common/back.gif
PID进行过多次调整，没有多大效果，问题应该不是在这方面，因为工转不开，一切正常！
等更换工件盘后的结果吧。但愿能够解决！