hustlotus 发表于 2009-7-17 15:07:23

请教高手振镜失真问题

1、用f-theta透镜进行后聚焦,振镜扫描所产生的枕形失真和鼓形失真分别是什么引起的呢?是振镜还是f-theta透镜呢?
2、如果我不用f-theta透镜聚焦,采用前聚焦,那直接由x、y坐标回溯计算振镜偏转角度,按理说是不会有失真的吧,请问这种情况下会不会产生失真?
望达人指点,谢谢了!

hustlotus 发表于 2009-7-20 08:23:55

顶起啊!................

realpro 发表于 2009-7-20 12:14:03

透镜,真的比较复杂啊。。。。。

xigema 发表于 2009-7-20 12:46:41

失真都是由于振镜引起的啊。。

如果用回溯的方法 理论上是不会产生失真的。。
但是我所在的公司软件组 告诉我 如果这样由于电机原因的误差。。仍会造成问题。。
最后他们采用的是扫描+校正的方法处理

hustlotus 发表于 2009-7-21 09:47:08

那我看的一些文献说,当x振镜变化,y振镜不变时,仅x轴发生变化;而当x振镜不变,y振镜变化时,x轴,y轴都发生变化。这就是枕形失真的原因。
那我也觉得这很没有道理,因为我们可以同时偏转xy振镜。
枕形失真和鼓形失真都是因为振镜电机所引起的吗?
就是说如果只有振镜,没有f-theta透镜,也会有枕形失真和鼓形失真?
这下麻烦了。。。要校正。。。。。

dieser 发表于 2009-7-21 10:19:44

失真都是由于振镜引起的啊。。

如果用回溯的方法 理论上是不会产生失真的。。
但是我所在的公司软件组 告诉我 如果这样由于电机原因的误差。。仍会造成问题。。
最后他们采用的是扫描+校正的方法处理
xigema 发表于 2009-7-20 12:46 static/image/common/back.gif

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hustlotus 发表于 2009-7-21 12:37:26

校正啊,又要校正。。。。:(

xigema 发表于 2009-7-21 13:50:04

前聚焦
从X镜出来的光 单位向量为(sin2wx,cos2wy,0)
将和Y镜相交与(D*tan2Wx,0,e)
当Wy=0,Y镜出射光线向量可以表示为(sin2wx,0,-cos2wy)
从而当Y镜偏转Wy时,出射光线向量为(sin2Wx,cos2Wx*sin2Wy,-cos2Wy*cos2Wy)
出射光线必然经过点(D*TAN2wx,0,e)且向量已知
有方程:
X=d*tan2Wx+sin2wx*t
Y=cos2wx*sin2wy*t
Z=e-cos2wx*cos2wy*t

令Z=0 解方程得聚焦面上坐标
X=D*tan2WX+E*TAN2WX/COS2WY
Y=E*TAN2WY

求逆
Wx=0.5*arctan(X/(d+sqrt(e^2+y^2)))
Wy=0.5*arctan(Y/e)

以上为根据参考文献
1.基于双振镜扫描的三维激光加工系统 自动化与仪器仪表 2006.1
2.双振镜二维扫描系统的误差分析和校正技术 应用激光 2001.1
整理。

本人QQ 19960786 也是hust的 欢迎楼主相互交流

hustlotus 发表于 2009-7-21 14:11:46

楼上的公式很正确,如果由x、y坐标回溯计算振镜偏转角度,应该是不会有失真的吧。
如果有失真,那是由什么引起的呢,是因为振镜电机的误差吗?
纠结中。。。。。

brisker 发表于 2009-7-27 17:25:14

枕型失真是振镜引起的,这个非常容易算出来,鼓型失真有f-theta引起的,最终的失真是两者的叠加,失真最严重的地方是边沿,需要用9点校正法,校正才能工作。你可以下载http://www.raylase.com/cn/downloads.php 两轴激光光束偏转单元 - 手册 RLA, SS, TS两轴振镜使用手册参考,上面也关于失真的简单说明,也许对你有用。

dieser 发表于 2009-8-1 17:47:08

枕型失真是振镜引起的,这个非常容易算出来,鼓型失真有f-theta引起的,最终的失真是两者的叠加,失真最严重的地方是边沿,需要用9点校正法,校正才能工作。你可以下载http://www.raylase.com/cn/downloads.php 两轴 ...
brisker 发表于 2009-7-27 17:25 static/image/common/back.gif
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xwy8243 发表于 2009-9-28 16:02:56

振镜校正!!!!!!!!!!!!!!!!
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