jixiaoming 发表于 2009-7-31 14:33:02

膜层老是脏,咋个回事呢

最近镀二氧化硅都脏,咋回事

zzzz 发表于 2009-7-31 15:21:23


卫生没做好???????????????????

85667542 发表于 2009-7-31 17:08:24

机器密封方面不好了估计

山村野夫 发表于 2009-7-31 19:34:34

到底是膜上层还是膜下层,要具体问题具体分析

山村野夫 发表于 2009-7-31 19:36:48

是膜上尘还是膜下尘?

候鸟 发表于 2009-8-1 23:33:18

基片没清洗干净,真空室有异物,偶以前也遇到过这种现象。

longmin 发表于 2009-8-2 10:20:39

如果膜上就可能艙體髒   洩氣時造成的
如果膜下就可能鏡片清潔不足 或是霉

574805783 发表于 2009-8-8 22:28:19

不知道

gxbm 发表于 2009-8-9 10:14:03

注意坩埚周围。。

gxbm 发表于 2009-8-9 10:14:12

注意坩埚周围。。

jiayuch 发表于 2009-8-9 10:16:09

用的什么设备?做得什么产品?什么膜系?

jiayuch 发表于 2009-8-9 10:23:26

用的什么设备?做得什么产品?什么膜系?
页: [1] 2
查看完整版本: 膜层老是脏,咋个回事呢