jixiaoming
发表于 2009-8-10 09:55:50
哦，是膜层掉了，留一个小块，就没有膜
是基板脏了么
wsminmin
发表于 2009-8-10 15:45:59
我觉得六楼和九楼说的在理
sunyan
发表于 2009-8-10 21:42:33
真空室太脏了吧！！！！！！！！！！！！！
lgciom
发表于 2009-8-12 20:35:18
看口音象是云南人......
zzzz
发表于 2009-8-13 12:55:38
局部掉膜可能是基板问题............
jixiaoming
发表于 2009-8-14 11:25:31
就是小圆点
有时候，是脱模
zzzz
发表于 2009-8-14 16:55:52
针眼???????????????????????????????????
lao7_tao
发表于 2009-8-16 13:43:57
扩散泵返油吗？
圆点，另外还整片脱膜