jixiaoming
发表于 2009-7-31 14:33:02
膜层老是脏,咋个回事呢
最近镀二氧化硅都脏,咋回事
zzzz
发表于 2009-7-31 15:21:23
脏
卫生没做好???????????????????
85667542
发表于 2009-7-31 17:08:24
机器密封方面不好了估计
山村野夫
发表于 2009-7-31 19:34:34
到底是膜上层还是膜下层,要具体问题具体分析
山村野夫
发表于 2009-7-31 19:36:48
是膜上尘还是膜下尘?
候鸟
发表于 2009-8-1 23:33:18
基片没清洗干净,真空室有异物,偶以前也遇到过这种现象。
longmin
发表于 2009-8-2 10:20:39
如果膜上就可能艙體髒 洩氣時造成的
如果膜下就可能鏡片清潔不足 或是霉
574805783
发表于 2009-8-8 22:28:19
不知道
gxbm
发表于 2009-8-9 10:14:03
注意坩埚周围。。
gxbm
发表于 2009-8-9 10:14:12
注意坩埚周围。。
jiayuch
发表于 2009-8-9 10:16:09
用的什么设备?做得什么产品?什么膜系?
jiayuch
发表于 2009-8-9 10:23:26
用的什么设备?做得什么产品?什么膜系?