jixiaoming 发表于 2009-8-19 16:47:31

光控问题

做了些日子的镀膜工作,对光控厚度总结如下:
1、用光控的时候,在极值的时候,速率应该调大些,尤其是某些走的慢的膜层。

tfc 发表于 2009-8-19 16:54:09

这个不支持.一膜层应该随时恒速率

guangang 发表于 2009-8-19 18:56:24

同意楼上,速率应恒定,折射率才稳定(其他条件不变的前提下).

longmin 发表于 2009-8-19 20:50:48

停止點應該不要在極值
這樣的話就不要去管走快還是慢

dianmo1221 发表于 2009-8-20 15:56:20

了解楼主的意思,到极值时加大速流,可以很快翻过极值点,以便检测极值点,但是检测后关挡板,由于速率较快,造成的误差同样大

jixiaoming 发表于 2009-8-24 14:09:21

但是有时候,在极值点,来来赴赴的走,你就麻烦了。
我说的是对付这种情况,你们碰到过么

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 09:55:05

这种情况也有看到过,有时在极值点的数值会反复跳个几下。
4楼的做法我曾经试过,但是很难做到,如果不在极值点,很难确定应该停在哪个点的。因为镀膜不稳定的缘故,极值点的数值经常会不一样,因此相对的,非极值点根本无法定义。
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