xiaojiang007 发表于 2012-6-20 17:19:22

liguang 发表于 2011-7-25 08:48 static/image/common/back.gif
呵呵,解决了是Tooling值没算对,不过我还郁闷的是如果Tooling值算对了,那材料折算率跟实际镀出来的有什么 ...

朋友是光控的吗   请问下   这材料的的tooling怎么计算的呢谢谢

greenhaw 发表于 2012-7-24 17:10:39

xiaojiang007 发表于 2012-6-20 17:17 static/image/common/back.gif
这个tooling怎么计算啊?单层标定HL层是怎么做呢谢谢了

分别作单层然后用台阶仪测试厚度与理论值对比

huyuzhe 发表于 2012-7-25 06:41:58

单层做得厚一点,让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据,得出一个厚度值。tooling就是这个厚度值/设计厚度*100%

xiaojiang007 发表于 2012-7-28 12:15:42

huyuzhe 发表于 2012-7-25 06:41 static/image/common/back.gif
单层做得厚一点,让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据,得出一个厚度值。toolin ...

这个厚度是指的什么厚度呢我的机台是光控的,请问是不是光学厚度呢   请教步骤谢谢 !!我以前听别人说过用波长变化来求这个tooling,就是软件 模拟的波长 跟 实际镀出后变化的波长这 样 的 方法是否正确呢   请指教

huyuzhe 发表于 2012-7-29 15:40:34

xiaojiang007 发表于 2012-7-28 12:15 static/image/common/back.gif
这个厚度是指的什么厚度呢我的机台是光控的,请问是不是光学厚度呢   请教步骤谢谢 !!我以前听别人 ...

可以的,比如说用tfc,把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面,然后优化单层厚度,就可以知道你实际的物理厚度。然后如果你是光控,那么要把光控的设计光学厚度换算成物理厚度,然后除一下就可以了

xiaojiang007 发表于 2012-7-30 16:39:44

huyuzhe 发表于 2012-7-29 15:40 static/image/common/back.gif
可以的,比如说用tfc,把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面,然后优化单层厚度,就可以知道你实际的物 ...

光控的设计光学厚度换算成物理厚度怎么转化呢?谢谢朋友指导下谢谢

huyuzhe 发表于 2012-7-30 17:04:40

xiaojiang007 发表于 2012-7-30 16:39 static/image/common/back.gif
光控的设计光学厚度换算成物理厚度怎么转化呢?谢谢朋友指导下谢谢

软件模拟咯,tfc不是可以输入光学厚度的吗?直接输入物理厚度不就出来了

xiaojiang007 发表于 2012-7-31 13:48:51

huyuzhe 发表于 2012-7-30 17:04 static/image/common/back.gif
软件模拟咯,tfc不是可以输入光学厚度的吗?直接输入物理厚度不就出来了

tooling值非要用 物理厚度吗,我之前的那个方法可以求出吗   我现在不明白的是物理厚度 一个是我模拟的物理厚度,一个是我实际镀出来的厚度,这个厚度怎么求,我不明白可否朋友讲解下 谢谢

那些年~那些天~~ 发表于 2012-8-2 23:24:15

怎么简单的问题这么多人问,郁闷了

那些年~那些天~~ 发表于 2012-8-2 23:25:26

Q371450218想知道的加

lkai1014 发表于 2012-8-3 15:09:02

{:6_153:}1、先用TFC模拟下 2、用模拟的物理或光学厚度蒸镀次→测试分光结果→算出药材折射率输入到TFC中
3、将测试结果用TFC模拟出来,现在模拟出来的物理或光学厚度为实际所镀值
4、tooling=实际值/设计值*100%   5、再使用一简单的BPF(如中心波650 HLHLH2LHLHLH)进行tooling值微调。

a99533126 发表于 2012-8-5 22:20:05

本帖最后由 a99533126 于 2012-8-5 22:23 编辑

xiaojiang007 发表于 2012-7-31 13:48 static/image/common/back.gif
tooling值非要用 物理厚度吗,我之前的那个方法可以求出吗   我现在不明白的是物理厚度 一个是我模拟的 ...

实际基片膜厚=理论膜厚(晶控设定厚度即你模拟的膜厚)*tooling值

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