1. 测量样品片与监控片的波长位置来算tooling的方法，似乎不如直接用监控波长来的方便。二者最后都要根据实际结果来修。
2. 也可能你的离子源能量弱，对增强膜层填充密度效果不明显(我见过点灯丝的属于这种)。用xx大拿的话来说，只有清洁作用，呵呵。
没有离子源的折射率更高？
3. 冷却与不冷却可能有其他因素(吸潮以外)在里面，比如折射率温度系数，热膨胀系数等。不过折射率温度系数这块，对可见近红外的影响应该还没有这么大,
与你的材料有关吧。
4. 用激光笔校准，简单方便，是个好主意。全光谱校准的话，一般用汞灯。
otxtc 发表于 2012-1-4 21:34 static/image/common/back.gif
1. 测量样品片与监控片的波长位置来算tooling的方法，似乎不如直接用监控波长来的方便。二者最后都要根据实 ...
我现在是用测量两者的膜厚来计算tooling，然后再将监控片对监控波长的偏移作为一个偏移量——我使用不同的膜料与不同的波长试镀，算出这个偏移量似乎是一个定值。不知道是否正确。
我不知道我的离子源是否是你所说的点灯丝的那种，但确实是使用灯丝的，电压在8kv左右。资料里面看到的说没有离子源时的折射率会更高，而我镀膜时有时灯丝会断掉，这时候镀出来的折射率确实也高一些，当然也许是因为别的原因。
不用汞灯的原因，一个是因为我没有，第二个是因为我不知道怎么用汞灯来校准。
otxtc 发表于 2011-12-28 14:49 static/image/common/back.gif
1, tooling本来含义中没有这个偏移量的，这是个人经验，不是不可行。
因为tooling本身是个近似值，而且 ...
非常感谢！我有些明白了。
谈谈个人的看法：“监控片”是直接用在监测光路中测量光亮变化吗？如果是，请问你如何确定PK点的？一般采用过头法来确定，这就是差别的一个原因，还有一个原因是前面各位的讨论中提到了长飘的现象；至于两种膜料的波长不一样，是因为两者的折射率不同，则在PK点处的灵敏度也不同，长飘也不同。不知你是用透射监控还是反射？透射监控精度还要差些！
同意楼上的看法
再说点看法：我们光学监控的光路是有一定倾斜角的，12度或者14度，估计也会有点影响。
wdydede 发表于 2012-5-13 12:17 static/image/common/back.gif
再说点看法：我们光学监控的光路是有一定倾斜角的，12度或者14度，估计也会有点影响。
谢谢，我是用的反射监控。
我个人的看法，是无论机器的偏差是由什么造成的，它总能分成两种：固定偏差和随机偏差。由光源角度偏差等造成的，我可以认为它是固定偏差，由于监控片未放置平稳而导致的，我认为它属于随机偏差。尽量消除随机偏差，确认并计算出固定偏差，应该就可以做到测量清楚。
但我想知道的是，这种固定偏差是按波长比例还是按固定波长偏移量？或者其他？因为我镀膜试验的次数有限，因此从少数几次数值上，我未能看出确切的规律。
照我的理解是按比例的方法，TOOLING系数本身应是个比例系数，或者说按比例的方法的精度已经足够了满意了， 不知对不对？
随机偏差在实际工作中，可能不太好弄，一般在膜系设计中可以加以考虑，现在的设计程序都能计算在有随机偏差的情况下，膜系满足要求的比率有多高，要优化到可以接受的程度。
wdydede 发表于 2012-5-14 12:33 static/image/common/back.gif
照我的理解是按比例的方法，TOOLING系数本身应是个比例系数，或者说按比例的方法的精度已经足够了满意了，...
我不知道，我想你是对的，但我还需要做实验。
对于光控，尤其是国产的光控能力比较简单的镀膜机，产品上的膜与监控片上的膜有偏差，监控片上的膜与设计的参数又有偏差，前者应该是由于离子源、位置等原因有一个比例偏差系数，后者的偏差也许就是因为监控光源的入射角等原因了。
好好学习
高深。