otxtc 发表于 2012-5-15 22:01:26

1. 光控入射角度(出入射夹角的一半)一般在3~5度以内,影响不大。14度就太大了,应该在确定监控波长时予以考虑。垂直与倾斜厚度就是个 cosine 关系。
2. 计算机控制可以做到极值判断,而不再需要过极值。//现在的新书也照搬几十年前的东西,呵呵。
3. 固定偏差与随机偏差可以这么区分的。
    需要注意的是,光源角度带来的偏差是随膜系而变的,而且也不容易准确模拟出来。还是角度小点的省事。
    至于监控片倾斜之类的,需要在结构及加工上下工夫。
4. 光控里有不少不易把握的地方,需要逐个解决。
5. 先找出影响最大的因素,重点予以解决(不一定是光控哦)。然后再细化其他方面,以免什么都抓不住。

tfc 发表于 2012-5-16 08:10:29

楼上的判断部分是对的,再深入研究就好了,比如第2点,要结合实际情况,就算蒸发速率是恒定的,极值附件的变化梯度还是很小,坩埚挡板的动作有个延时,判断依据还有个变化量指定值,小于多少属于误差、大于多少属于真变化问题,特别对于折射率易变材料,极值判断都是风险很大的,这还不包括光控精度、稳定性。。。
其他不多谈,总之光控里面有很多文章,国产光控落后进口一大段,也是因为深入研究不够,被似是而非的东西蒙住了

otxtc 发表于 2012-5-16 22:48:54

1. 多年前就有人做到了,判断算法并不落后,这不是随便说的,呵呵。极值判断对于滤光片还是很有用武之地的。
2. 挡板的延迟,原理上说是因素之一,但对气动结构挡板来说,对成膜结果影响可能不是主要的。通过软件模拟是可以得出这个结论的。
3. 国产光控在细节上是有许多需要改进的地方,但影响国产机器成膜结果的主要因素可能也还不在此。换句话说,国产机器配进口光控的话,不见得会好多少。
4. 还是要先找到主要矛盾。
5. 国产机器要从整体细节上下工夫,否则迟早会被市场抛弃。狼已经来了...

wdydede 发表于 2012-5-17 00:15:56

学习学习,现在的技术是一日千里,不学习就落伍了{:6_153:}{:6_153:}

wdydede 发表于 2012-5-17 00:29:02

但是感觉上还是过头比较塌实,
在做减反时,常常有意把监控波长选小一点,避免采用极值来提高精度真的过时了吗?

Jimmy_tang 发表于 2012-5-17 08:39:00

一般都是过头的,否则无法判断是否真的是在极值。

wdydede 发表于 2012-5-19 01:19:49

还是请otxtc不要怕辛苦,多讲讲!

wdydede 发表于 2012-5-19 20:07:52

otxtc是做设备的吗?

一路有你 发表于 2016-7-21 16:37:26

{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}

MorningTech 发表于 2016-8-2 08:59:12

光控自动判断,速率必须相对稳定。
上海膜林科技有限公司,专业晶控仪研制商。为您的光控系统提供保障。


2016.09.06-09,深圳会展中心,7F43

sery1234 发表于 2016-8-3 22:10:45

个人表示点意见,光学镀膜到现在 很多技术都很成熟,建议多花点时间在机器上,了解机器的特性,注重每个细节,长短都无所谓,,先保证你机器的重复性,一次实验一个参数,最后你自己都蒙了

MorningTech 发表于 2016-8-4 15:08:25

sery1234 发表于 2016-8-3 22:10
个人表示点意见,光学镀膜到现在 很多技术都很成熟,建议多花点时间在机器上,了解机器的特性,注重每个细 ...

说的非常对。重复性是关键。真空度、温度、沉积速度、厚度 稳定和重复 都至关重要。
晶控承担了 沉积速率、厚度 两项重任。


上海膜林科技有限公司晶控仪,经几年来的市场检验,完全可以胜任当前任务,并不比任何进口仪器差。:lol


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