filmokay 发表于 2011-12-29 10:11 static/image/common/back.gif
是监控片
我测量扫描的就是监控片的光谱，就如我顶楼说的，5阶极值点不是500而是569了。当然，我同时也扫描测量的样品的光谱，这两个的极值点波长是不同的。
监控片的光谱与样品的光谱的极值点波长是不同的，比值应该就是tooling值。
检查一下未使用的监控片是否一至
Jimmy_tang 发表于 2011-12-29 09:55 static/image/common/back.gif
不是很明白你一的意思，我上面的数据就是监控片的扫描曲线啊。
二的话，是指确实是因为膜料的原因，而不 ...
对啊！！！
WENJINGREN 发表于 2011-12-29 15:24 static/image/common/back.gif
监控片的光谱与样品的光谱的极值点波长是不同的，比值应该就是tooling值。
检查一下未使用的监控片是否一至 ...
所有的监控片当时都是同一批加工的，测试的反射率也基本一致，所有我觉得应该是可信的。
不过我的监控片使用的是K9，而样片则用的是要用于镀膜的玻璃。这两种材质还是有差异的。
其实这个问题不是水吸飘长的话，应该就是单色仪误差了。两种料做一个在559，一个在569，不过相差10个纳米嘛，镀膜时的误差相差10个纳米我觉得是可以理解的，毕竟工艺不可能完全重复！平时我们抓的TOOLing，是综合了很多因素得出的一个综合的值，也包括单色仪的这个误差在内，所以自然对这方面没加在意。
yibi11 发表于 2011-12-30 11:47 static/image/common/back.gif
其实这个问题不是水吸飘长的话，应该就是单色仪误差了。两种料做一个在559，一个在569，不过相差10个纳米嘛 ...
嗯，我想应该不是单色仪误差的缘故。
我现在最大的疑问，还是为什么监控波长是500，做出来的却不是500，而且我这个偏差都超过10%了。为什么呢。
光控与tooling值大小没关系
ZHJ7239 发表于 2011-12-30 21:01 static/image/common/back.gif
光控与tooling值大小没关系
同意
ZHJ7239 发表于 2011-12-30 21:01 static/image/common/back.gif
光控与tooling值大小没关系
不是很懂，能解释一下吗？
我设定的监控波长500，但出来的曲线对应的极值点在569，这个算是tooling吗？因为我已经确认过不是单色仪偏差了。
Jimmy_tang 发表于 2011-12-31 08:24 static/image/common/back.gif
不是很懂，能解释一下吗？
我设定的监控波长500，但出来的曲线对应的极值点在569，这个算是tooling吗？因 ...
1. 这不是tooling.
2. 没有用离子源辅助吧。镀完膜立即测量监控片，看极值波长位置； 放置一段时间后，再测。
3. 估计单色仪是不会出现这么大偏差，但你如何确认单色仪没有偏差的呢?
可以参考一下基底温度，温度误差也会导至结果不同，考虑一下其它工艺参数。
otxtc 发表于 2011-12-31 21:41 static/image/common/back.gif
1. 这不是tooling.
2. 没有用离子源辅助吧。镀完膜立即测量监控片，看极值波长位置； 放置一段时间后， ...
{:6_153:} 我一直把这个当做是tooling的一部分。。。这样看来的话，真不知道为什么会产生这个偏移了。
但我的确有使用离子源辅助。有离子源和没有离子源我都做过测试，一样都会产生差不多的便宜，只是没有离子源时，折射率大约会高0.1左右。
监控片未冷却与冷却时的曲线确实有差异，未冷却时，镀膜曲线会向长波长方向移动，在1500波长附近大约能偏移100nm，但在短波长附近的差异就只有十几个nm了。
至于单色仪的校正，我是使用红光激光笔与绿光激光笔进行校准的。另外还有一个可以确认单色仪没有严重偏差的理由，是原有的几个膜系，同样的镀膜参数镀出来的曲线没有什么大的变化。