seeyou1107 发表于 2004-11-4 21:47:00

用电子枪镀TiO2时，出现异常！大家来看看

在镀TiO2时，电子枪的高压示数一跳一跳的（突降一下），这是为什么啊，有什么解决的办法？

tangjindao 发表于 2004-11-4 23:50:00

打开电子枪灯丝看一下是否是灯丝上有异物，或电子枪电流过大

kingspc 发表于 2004-11-10 21:47:00

灯丝脏了或老化了，建议更换

seeyou1107 发表于 2004-11-14 04:10:00

<P>可是在镀sio2时，好像没有这种的情况的！过会儿我也把电子枪打开看看</P>

xfhu529 发表于 2004-12-7 23:15:00

我也遇到这种情况的，好象和离子源的使用有关系，有时候镀的过程中就自动停止了

DANNY 发表于 2004-12-7 23:55:00

调整一下充氧管的位置！

wottlin100 发表于 2004-12-14 21:00:00

<P>5楼的是串压了！把电子枪的高压接线部分和离子原的接线部分实行屏蔽！要不然的话就是减少充气流量和提高本底真空！楼主有没有用离子原？</P>

matta 发表于 2004-12-15 21:53:00

<P>电子枪打火啊，在Predeposit的时候有材料飞溅到枪头上了，不想放气的话试试加束流能不能将材料熔化。</P>

warms 发表于 2004-12-19 05:55:00

充气高了

zjtzzw 发表于 2004-12-29 02:45:00

可能是有异物掉到材料上了，可以灯丝预热5分钟

wuming791025 发表于 2004-12-29 03:59:00

呵呵，才料少了也会

tju_dong 发表于 2005-2-16 16:03:00

filament老化，换个新的
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