renajin
发表于 2004-12-7 22:33:00
请教镀膜SiO2
<P>请教各位专家,我公司镀膜SiO2时, 镀膜完毕,擦拭时,镀膜脱落.(牢固度不够)</P>
<P>请问是什么原因啊</P>
xcy1075
发表于 2004-12-14 01:44:00
温度多少
zz
发表于 2004-12-8 00:26:00
和基体特性不匹配；镀前表面污染，其他
cjyzq
发表于 2004-12-8 02:41:00
<P>工艺问题 提高SiO2的蒸发速率。</P>
Leesnow
发表于 2004-12-8 17:10:00
<P>还有真空度，有没有离子源啊！</P>
renajin
发表于 2004-12-13 23:09:00
哦
martin1980
发表于 2004-12-13 23:18:00
你们只镀SIO2么？还有没有镀其他的膜层？
sauke
发表于 2004-12-15 07:57:00
可能与基底温度及洁净度有关。
matta
发表于 2004-12-15 21:38:00
<P>温度是主要关系，基底的温度在250时表面活性最大，膜与基底结合越牢固。</P><P>蒸发速率在18A/S最合适，真空要在2.5E-5Torr以下。</P>
renajin
发表于 2004-12-27 18:46:00
谢谢了
zjtzzw
发表于 2004-12-29 02:36:00
先测一下温度达到250度以上和跟真空度2.5*10－5torr 以下
4366544
发表于 2005-6-28 19:23:00
你的ＳＩＯ２的蒸发时的放气量是不是已经使真空度变的好低?？