few 发表于 2006-7-7 21:58:00

[求助]薄膜表面出现散射

<p>最近開始製作IR CUT但是發現玻璃表面幾乎都是"霧面",好像是<span lang="ZH-CN" style="FONT-SIZE: 12pt; COLOR: red; FONT-FAMILY: SimSun; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;">薄膜表面出现散射</span></p><p>請教各位高手是否能給小弟一些意見</p><p><p><span lang="ZH-CN" style="FONT-SIZE: 12pt; COLOR: red; FONT-FAMILY: SimSun; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;"></span></p><p><span lang="ZH-CN" style="FONT-SIZE: 12pt; COLOR: red; FONT-FAMILY: SimSun; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;"></span></p><p><span lang="ZH-CN" style="FONT-SIZE: 12pt; COLOR: red; FONT-FAMILY: SimSun; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;"></span></p></p><p><span lang="ZH-CN" style="FONT-SIZE: 12pt; COLOR: red; FONT-FAMILY: SimSun; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;"></span></p>

zzzz 发表于 2006-7-7 23:59:00

<p>TIO2料吧</p><p>///////////////////</p>

buwzh 发表于 2006-7-8 19:23:00

<p>原材料研磨抛光的问题</p>

few 发表于 2006-7-9 00:42:00

<p>可是原材是德國SCHOTT D263T應該不會有這樣的問題吧</p><p>我是懷疑會不會是SiO2</p><p>但也有人說是通氧量的問題</p>

zzzz 发表于 2006-7-10 17:04:00

<p>D263T是薄片吧</p><p>这种材料挺有意思的.</p>

huhu 发表于 2006-7-11 05:22:00

<p>先试试调整通氧参数以及开门时间。如还有问题，再一起交流。</p><p></p>

hydralisk-1 发表于 2006-7-12 10:06:00

表面发雾，很大可能是TIO2材料的晶化造成的。晶化的主要原因是温度，你可以试着从这方面入手

kuan 发表于 2006-7-13 00:04:00

I think the reason is Tio2

few 发表于 2006-7-14 20:54:00

<p>基材 D263T 鍍膜機靶材 SiO2 NbO5 鍍膜機Shincron-RAS1100濺鍍機</p><p>原始參數:IR厚度3.8um(34 Layers) Ar 150sccm ; O2 85sccm 霧面</p><p>做了幾個小實驗</p><p>1. 鍍單層SiO2(1.9nm)+單層NbO5(1.9um) 無霧面</p><p>2. IR635厚度3.8um(61 Layers) 霧面(但有少數幾片霧面情況改善)</p><p>3. IR厚度3.8um(34 Layers) Ar 120sccm; O2 80sccm 霧面</p><p>發現跟基材應該應該無關,也不知道是不是溫度造成</p><p>請各位大大指教</p><p></p>

tianxia 发表于 2006-7-15 18:52:00

Shincron-RAS1100，目前国内南阳利达有，最好的镀膜机，出现这样的事情，找日本人解决，不行让他们赔损失

cchingoo 发表于 2006-7-15 23:59:00

<p>34 Layer膜層設計與鍍膜參數會非常重要</p><p></p>

huhu 发表于 2006-7-16 05:39:00

<p>对你这个问题挺感兴趣。</p><p>你说的雾面是不是对着检测灯光看有一层均匀的发白现象（整个面发蒙）。</p><p>你给的参数不足，如果可以你话，就补足吧，我比较一下。（速率，氧流量，power，...）</p><p></p><p>1. 鍍單層SiO2(1.9μm)+單層Nb2O5(1.9μm) 無霧面（修改了一下）</p><p>（这个试验也做，佩服～）</p>
页: [1] 2
查看完整版本: [求助]薄膜表面出现散射