监控波长与镀膜曲线,懂光控的请进来看看。
我用500nm作为监控波长,走5个极值。完成后,我扫描监控片镀膜曲线,发现5阶极值点波长在569nm位置。这是什么原因?是tooling偏差,还是我的单色仪跑偏了? 1, tooling本来含义中没有这个偏移量的,这是个人经验,不是不可行。
因为tooling本身是个近似值,而且这个值似乎一直会变化。你以为好的时候,膜系出来不一定好,反过来也一样。
tooling的变化是镀膜机重复性的难点所在,不可绝对避免,这也是为什么发展直接光学监控的根本原因(当然,各有利弊)。
只要镀出合格的膜系,就是猜的tooling都可以。
2, 8kv,你是指电子枪负高压吧;对于离子源及其效果,本人了解数据有所欠缺,不多言;
3, 你能用2个波长校准已经很够意思了,作为用户用1个波长看看就差不多啦。汞灯是单色仪生产厂家用的。 {:6_143:} 补充一下,我用另外一个膜料,同样镀完后,5阶极值点也跑到559了。
如果是单色仪跑偏了,那么应该也在569位置。
会不会是因为走值完成后,真空炉中剩余的介质继续附着导致的呢? Tooling看下,测试下光控的玻璃片的光谱是多少 应该是由于膜层在空气中吸收了水汽漂移的原因!{:6_140:} 一,你先测测你的监控片,看看到多少啊
二,膜料不一样吸收的水份不一样,那你测出来就不一样啊 filmokay 发表于 2011-12-28 16:57 static/image/common/back.gif
Tooling看下,测试下光控的玻璃片的光谱是多少
我现在就是不确定tooling值,所以才做这组实验。你说的光控的玻璃片,是指监控片吗? yibi11 发表于 2011-12-28 17:28 static/image/common/back.gif
应该是由于膜层在空气中吸收了水汽漂移的原因!
这个。。。应该不可能吧?能吸收到使厚度变厚10%以上,我觉得很难理解。。。 {:6_140:}{:6_140:}{:6_140:} 272813953 发表于 2011-12-28 21:09 static/image/common/back.gif
一,你先测测你的监控片,看看到多少啊
二,膜料不一样吸收的水份不一样,那你测出来就不一样啊
不是很明白你一的意思,我上面的数据就是监控片的扫描曲线啊。
二的话,是指确实是因为膜料的原因,而不是单色仪的偏差。对吧? Jimmy_tang 发表于 2011-12-29 09:49 static/image/common/back.gif
我现在就是不确定tooling值,所以才做这组实验。你说的光控的玻璃片,是指监控片吗?
是监控片